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受託分析・X線検査装置


X線検査装置


表面から確認できない箇所や微小部の観察は、X線検査装置を活用した断面試料観察を行います。内部構造を理解することで、ワイヤボンディング部など微小部の研磨、観察をピンポイントで行うことが可能です。

X線検査装置による観察事例

     
  ■ICパッケージ ワイヤボンディング部  
 

表面から確認できない箇所や微小部の観察は、X線検査装置を活用した断面試料作製を行います。内部構造を理解することで、ワイヤボンディング部など微小部の研磨、観察をピンポイントで行うことが可能です。

  【表面観察】  
 
半導体パッケージ


対象とするICパッケージをマイクロスコープにて外観観察。この場合、アンダーフィルにてリードが確認できません。

  【X線観察】  
 

X線による非破壊観察で、観察位置のリード部、ボンディング部を確認

 
ボンディング観察
 

リード接合部観察面


ボンディング接合部観察面

  【断面試料作成】
 

切断〜樹脂埋め〜研磨による断面試料作成  詳細 断面観察

  【断面観察】  
 

金属顕微鏡にて接合状態を確認

 
 
はんだ接合部
ボンディング接合部
 

はんだ接合部観察

ボンディング接合部観察

 
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