供試品の外観異常の有無、傷、クラック、腐食、異物の付着など、表面観察による異常の有無を確認します。対象物を拡大し形状観察するための設備です。 観察倍率・観察対象物に応じて種々の光学顕微鏡を備えています。光学的な観察倍率は数十倍から数百倍で行います。更に高倍率の観察には電子顕微鏡(SEM)を使用します。
数十倍〜数百倍程度の比較的低倍率で供試品の拡大観察を行い、外観異常の有無、傷、クラック、腐食、異物の付着など、表面観察による異常の有無を確認します。
鉱物や金属など、不透明な試料の表面に可視光を照射して観察する光学顕微鏡です。 特殊な光学系を通った照射光と試料からの反射光とが干渉し、表面のごくわずかな凹凸が色差として捉え立体的な像が得ることができます。この特徴により、結晶粒界などの観察に使用します。
表面観察からの観察が難しい微少な亀裂や内部組成の変化を確認するため、断面観察を行う場合があります。供試品を専用の樹脂で固めた後、切断・研磨して対象部位を観察できるようにします。