電子顕微鏡は、光学顕微鏡では見ることのできない微細な対象を観察に使用します。高倍率の観察が容易なだけではなく、分解能が高く、焦点深度が光学顕微鏡に比べて著しく大きいことが上げられます。 また観察部位の元素分析や元素の分布を調べることも可能で、不良部位への付着物、生成物の特定を行うことができます。
研磨時の優れた鏡面仕上げとエッチングにより、明瞭なはんだ組成観察や合金層観察が可能となります。FE-SEM＋EDXまたはEPMAにて元素分析可能です。
観察例：Sn-Ag-Cu系鉛フリーはんだの接合界面
SEMによる合金層観察
EDXによるマッピング
試料ステージΦ203mmを備えた大型試料対応のＳＥＭを導入しています。 大型試料を切断などの加工をすることなく観察することができ、また試料への影響を考慮した無蒸着観察にも対応可能で、ウィスカなどのデリケートな現象の観察に有効です。
観察例：携帯基板
観察例：ウィスカ
